2024年度武汉市重点研发计划指南方向
一、光电子信息 1. 基于硅光集成的钛酸钡薄膜电光调制器关键技术研发 针对现有基于薄膜铌酸锂的电光调制器调制性能受限以及钛酸钡材料与硅光工艺兼容等问题,开展高电光系数钛酸钡薄膜的硅光集成工艺、新型硅基钛酸钡集成波导和电光调制器结构设计等关键...
一、光电子信息 1. 基于硅光集成的钛酸钡薄膜电光调制器关键技术研发 针对现有基于薄膜铌酸锂的电光调制器调制性能受限以及钛酸钡材料与硅光工艺兼容等问题,开展高电光系数钛酸钡薄膜的硅光集成工艺、新型硅基钛酸钡集成波导和电光调制器结构设计等关键...